Die Elektronenstrahltechnik kann auch zum Bohren und Perforieren im Mikrobereich eingesetzt werden. Dieses Verfahren wird als Elektronenstrahlbohren (EB-Drilling) oder Mikroperforation bezeichnet. Bei diesem Verfahren wird ein fokussierter Elektronenstrahl verwendet, um präzise Löcher in dünne Materialien mit einer Dicke von typischerweise weniger als 50 µm zu erzeugen.
Der Hauptvorteil des EB-Bohrens ist die Fähigkeit, hochwertige und präzise Löcher mit einem Durchmesser von nur wenigen Mikrometern zu erzeugen. Das Verfahren kann auch ohne Kontakt mit dem Material durchgeführt werden, so dass das Risiko einer Beschädigung oder Verunreinigung ausgeschlossen ist. Die FOCUS-Elektronenstrahlschweißmaschinen arbeiten mit einem hochfokussierten Elektronenstrahl (Spotgröße unter 50 µm), der eine präzise Steuerung des Bohrprozesses ermöglicht. Dies ermöglicht die Herstellung von Löchern mit einem Durchmesser von nur wenigen Mikrometern (abhängig von der Dicke der Teile) mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit.
EB-Bohren mit einem gepulsten Strahl. Aufgrund der hohen Intensität und der materialunabhängigen Absorption sind sehr feine Löcher mit weniger als 50 µm in jedem Metall erreichbar. Das Bild unten zeigt das Bohren in einem 500 µm dicken Goldblech.
